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島津氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)組成和保養(yǎng)知識

更新時間:2021-12-09      瀏覽次數(shù):910
  島津氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
  氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里*的一種技術(shù),由于檢漏效率高,簡便易操作,儀器反應靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,在室內(nèi)來回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場作用下進人磁場,由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。
  島津氦質(zhì)譜檢漏儀的進展:
  (1)便攜式:zui近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
  (2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
 ?。?)自動化程度高:自動校準氦峰,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
 ?。?)全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的島津氦質(zhì)譜檢漏儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。
  (5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。
  島津氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識
 ?。?)前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng);
  (2)電磁閥組的超聲清洗;
  (3)質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護。
  島津氦質(zhì)譜檢漏儀主要配置采用檢漏儀定制產(chǎn)品。設備內(nèi)芯的制造借鑒*技術(shù),整機設置合理、性能穩(wěn)定。具有靈敏度高,反應快,開機時間短等特點。

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