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簡要描述:支持正壓檢漏,負(fù)壓檢漏自動跟蹤本底,提供快速可靠的測量結(jié)果優(yōu)化設(shè)計的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng)高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確??焖偾搴?/br>支持氮?dú)馄瓶眨皇墉h(huán)境氦氣干擾,快速降低本底機(jī)器**的性能支持7*24小時長時間在線測試機(jī)器**的性能支持幾秒一次的高頻率測試配有檢漏口精細(xì)過濾器,過濾細(xì)微雜質(zhì),確保機(jī)器不受雜質(zhì)影響和損傷雙銥絲離子源,有效的系統(tǒng)設(shè)計,防
功能描述
支持正壓檢漏,負(fù)壓檢漏
自動跟蹤本底,提供快速可靠的測量結(jié)果
優(yōu)化設(shè)計的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng)
高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確??焖偾搴?/span>
支持氮?dú)馄瓶?,不受環(huán)境氦氣干擾,快速降低本底
機(jī)器**的性能支持7*24小時長時間在線測試
機(jī)器**的性能支持幾秒一次的高頻率測試
配有檢漏口精細(xì)過濾器,過濾細(xì)微雜質(zhì),確保機(jī)器不受雜質(zhì)影響和損傷
雙銥絲離子源,有效的系統(tǒng)設(shè)計,防大氣沖擊
支持定制檢漏工作臺,更加便捷使用
技術(shù)參數(shù)
小可檢漏率(負(fù)壓模式) 5×10-13Pa·m3/s
小可檢漏率(正壓模式) 1×10-8Pa·m3/s
檢漏口壓強(qiáng) 粗檢 1500Pa
中檢 200Pa
精檢 40Pa
響應(yīng)時間 <1s
啟動時間 ≤3min
外形尺寸(W×D×H) 845×465×988
重量 80Kg
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